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平行光曝光灯

PC-4500CIL曝光灯、日本USHIO平行光曝光灯。短弧***氙灯，平湖平行光曝光灯，又名平行光曝光灯.功率主要有5000w，3000w，8000w等，用途较广泛的是5000w平行曝光灯.球形高压短弧***氙灯

英文名称是mercury xenon short arc lamps

该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间，是在高压***蒸气中产生电弧发光的短弧灯，此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点，平行光曝光灯，适用于全自动曝光系

统和半导体生产光刻。

主要规格型号：日本ushio系列型号有:pc-5001cbt，pc-5001csn，pc-5001cbtl，pc-5001csnl，pc-5002rc，pc-5002ad，pc- 5001ta;pc-5000mf，pc-5000sg、pc-3500sg；、同时还有点光源平行光曝光灯：型号有：ｓｕｖ-1003ｆａ；ｕｖｌ-3500ｓｉ；ｕｓｈ-5000ｍｇ，uxm-5000ta、ush-3502ma，ush-2004mb、hsa－2002－30341

美国orc型号有:hvf-5001cbt/r，hvf-5001csn/r，hvf-5000mfn/r，南山平行光曝光灯，hvf-5002ad/r。

平行光曝光灯

DNK-5KW(用于Dai Nippon Kaken曝光机)

USH-1000KS和USH-1005D，

BMO-1002DF，

KXM2000DK，番禺平行光曝光灯，

KXM2001DK，

USH-2004MB，

HSA2002-30341，

AHD3000MFN，

DNK-3.5KW(用于Dai Nippon Kaken曝光机)

PC-3500SG(用于HAKUTO曝光机)

USH-3500MR，

USH-3501FN，

USH-3502DK，

USH-3502MA，

KXM3511DK，

美国ORC曝光机，(PC-5000MF用于欧特玛曝光机)

PC-5001CSN(用于志圣曝光机)